熱物性顯微鏡 TM3B主要是測量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備，可以進行微小領(lǐng)域（微米等級）和納米薄膜等的測量。

熱物性顯微鏡TM3B的優(yōu)勢：

? 熱物性顯微鏡是測量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備；

? 可以通過點、線、面測量樣品的熱物性；

? 可測量微米等級的熱物性值的分布；

? 全球首個非接觸方式且高分辨率的熱物性測量設(shè)備；

? 檢測光點徑3μm、高分辨率來測量微小領(lǐng)域的熱物性（點、線、面  測量）；

? 可改變深度范圍進行測量，從薄膜、多層膜到散裝材料都可測量；

? 基板上的樣品也可測量；

? 激光非接觸式測量；

? 可檢測薄膜下的裂紋、孔隙、脫落等問題。

微小領(lǐng)域（微米等級）、納米薄膜、Sic（單晶體、多晶體）、AIN等的測量。